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半導體工藝設備

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  • 立式爐

  • SiC高溫氧化爐

  • SiC高溫退火爐

  • 臥式爐

• CVD設備

  • 立式LPCVD

  • 臥式LPCVD

化合物晶體設備

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• Ga2O3單晶生長及外延設備

  • 導模法長晶爐

  • 垂直布里奇曼法（VB）爐（非銥技術）

  • HVPE外延爐

• 金剛石單晶生長設備

• GaAs / InP 單晶生長設備